13951825145
簡(jiǎn)要描述:URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現高精度自動(dòng)調平;真空接觸自動(dòng)曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實(shí)現自動(dòng)化控制。
產(chǎn)品分類(lèi)
芯片加工設備
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